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等离子去光阻机PA01
信息ID:51600859
等离子去胶渣机P...
真空等离子清洁设...
产品详情
有图信息
信息类型:
求购
价格:
电议或面议
所属行业:
其它设备
数量:
1套
发布时间:2018-12-19
所在地区:
台湾台南市
详细介绍:
产品功能 快速去除晶圆上之残留光阻,达到晶圆表面洁净,蚀刻率同业 产品特色 处理均匀性佳 离子能量低、不损伤基板 没有电极及基板的污染 专利设计之特殊等离子电极 高密度等离子源 等离子效率高、清洁效率高 可控制低的离子能量 结合化学反应性及物理撞击性 处理速度快、清洁效率高、可靠度高 操作范围广 可使用多种制程气体 设备稳定高,容易维护 可依客户需求作更改 应用产业 残余光阻去除 PSS来料清洁制程
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