LIGA三维立体电铸机

1．设备描述
精密电铸机整机由主构架、排风罩、水/气路、槽体和电气控制等组成。外形尺寸约为：530mm（长）×420mm（宽）×520mm（高）。 机箱槽体均采用进口PP板焊接而成
2.电脑程序控制：可控制温度、电流,刮板搅拌器速度,安培/小时计算电镀厚度。
3.电镀槽体包括:
① 镀槽尺寸：工作槽:200×250×185 (镀槽包括盖子和水位刻度) 在保证镀槽合理使用与提高性能前提下,可对工作槽尺寸与结构进行整修改。
② 液体容量暂定为:20～30立升 (包括储液槽)
③ 4″6″夹具各二套(阴极)采用进口板材与钛合金制造
④ 电镀尺寸:6″
⑤ 平均度：厚度0.5mm, ≤±5～10%
⑥ 刮板上下摆动, (刮板叶紧靠近夹具，摆动方向为平行被镀物方向),摆动距离:40mm,,摆动速度:每分钟0～60次，钛篮正向面积为：≤150mm×150mm.钛篮配备阳极过滤袋）
⑦ 钛合金导轨(阳极电集)
⑧ 阳极纵向移动,动作于钛合金制作导轨中(可调节阴/阳极距离), 
⑨ 挡板架置于阴/阳极之间,受制于钛合金导轨 (可调整与阴/阳极距离)。
 (依据离子沉积的状态,采用更换挡板调整遮蔽区的大小)。
⑩ 自动衡温:采用铁氟龙发热器和钛金属制作冷却器。
⑪ 温度范围：室温～60℃。稳态精度±5℃，加热器功率1KW，温度范围可按需要设定。
⑫ 镀槽两侧配有氮气喷枪和纯水喷枪各一支。
4.电源： 
① EP100-A 型号:It6921/ 电源精度：１毫安(可调), 电压0～18V,  100 W  
②Tektronix.Afg3021B2B信号发生器。
③功率放大
实现直流、交流可调，交流包括方波和三角波，方波和三角波的周期可调，小周期小于1ms，电源精度1mA，电流1.。

5.溶液循环系统
①采用立式耐强腐蚀液氟塑泵 
②循环次数：每小时30～50次
③采用高密度过滤器过滤，过滤精度：0.45微米
6.动力需求
氮气压力：     0.3～0.5Mpa 
氮气管径:      1/8″(接φ6mmPU管)
纯水压力：     0.2～0.3Mpa
纯水管径:      3/8″(6分PPR油刃)
设备废气排风量：   ≥8500L/min/每个排风口
电源：AC220V  50Hz 
总功率：3KW


大面积微细结构、深沟槽纹理电铸。可翻制金属镍母版，用于PET、PVC、PP、PE等材料上辊筒式模压成型微细结构、深沟槽纹理的母版。