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磨片清洗台
信息ID:6612553
PCB线路板边框
电子器件清洗设备
产品详情
信息类型:
供应
价格:
电议或面议
所属行业:
废半导体/电子元器件
数量:
大量
发布时间:2009-11-14
所在地区:
北京通州区
详细介绍:
磨片清洗台
型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB:设备用于1-6"硅片的半导体清洗过程中,去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。 4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。 5.人机界面为屏,方便直观。 6.除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成,适用于连续批量生产。 7.工作区设净化装置,内设过滤器,满足工作区净化要求(1000-100级,10级为特制) 8.界面中有故障报警、安全保护、工艺时序号等功能。 (8)主要指标: :18000×1600×2000(长×宽×高) /2.适用硅片:1-6" /3.装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)/4.工作区洁净度:100级 /5.槽间工艺转换时间:Tmax≤3.5s有需求此方面设备的朋友,
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