广东深圳转让二手韩国VACOS磁控溅射真空镀膜机

设备名称:VTS-1600品牌:韩国VACOS社真空室:φ1600xH1600mm(SUS304)工件架转速:~Max2rpm扩散泵:HT20B(EDWARDS社)RotaryPump:E2M275(EDWARDS社)BoosterPump:EH-2600(EDWARDS社)PolyCold:北京天地精仪阴极/靶材(Cathode/Target):4setPowerSupply:5kw,EnerPulsePowerSupply(EN)1set20kw,EnerStreamPowerSupply(EN)_2set20kw,PulseGenDuoPowerSupply(EN)_2set设备尺寸约6000mm(W)×6500mm(D)×2500mm(H)重量约6500kg