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供求
出售晨立电子扩散炉炉体
信息ID:53167001
出售扩散炉/高温...
出售真空烧结炉....
产品详情
有图信息
信息类型:
供应
价格:
6000元/元
所属行业:
其他通用设备
数量:
10台台
发布时间:2020-10-06
所在地区:
山东青岛
详细介绍:
设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 主要技术指标:★ 炉管数: 1~4管★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃)±0.5℃/24h (800~1280℃)★ 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器★ 气体控制: 浮子/质量流量计★ 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min *大行程:2000 mm 定位精度:±1 mm *大载荷:17 Kg★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)噪音: ≤62dB(A)振动: ≤3μ
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