PVD真空等离子镀膜设备

产品特色 机台尺寸 : 1900(W)*4000(D)*2100(H) mm 有效镀膜空间 : 480(O)* 550(H) mm 夹层式直接水冷不锈钢腔体 搭载超高真空涡轮帮浦 4~8组PVD镀膜靶源 8轴之3层公自转机构可大幅提升系统批次产量与均匀性 整套置具台车进出方便Loading/Unloading 生产 全自动化镀膜生产 远端网路诊断及程式除错 镀膜总类：TiN、CrN、AlTiN、 TiAlN、TiSiN… 应用产业 铣削、车削、钻孔、攻牙之工具 成型、冲压之模具