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CVD气相沉积炉
信息ID:50814265
PI膜石墨化炉
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产品详情
有图信息
信息类型:
求购
价格:
电议或面议
所属行业:
工业锅炉设备
数量:
200套
发布时间:2018-12-20
所在地区:
湖南株洲
详细介绍:
化学气相沉积炉应用领域 化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。 化学气相沉积炉产品规格 产品型号/规格W×H×L(mm) 600*600*1000 800*800*1200 1000*1000*1500 1200*1200*2500 1500*1500*3000 2500*2000*3600 装载重量(KG) 350 800 1500 2500 5000 10000 温度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500 1500 温度均匀性(℃) ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10 ±15 加热功率(kw) 250 360 480 600 900 1200 极限真空度(Pa) 20 20 20 20 20 20 压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。 化学气相沉积炉主要配置 炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC 加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产 真空泵和真空计.-进口/国产 PLC:欧姆龙/西门子 控温仪表:日本岛电/英国欧陆 热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号 记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产 人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机 电器元件:正泰/施耐德/西门子 料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车 化学气相沉积炉技术特征 本化学气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求; 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好; 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好; 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
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