TG—10-12、TG—26-3

 机型\项目 TG—10-12 TG—14-16 TG—20-24 TG—26-30 TG—32-36 TG—36-40
镀膜室规格    Ǿ
1300-1600*1500-1750mm Ǿ
1400-1600*1600-2200mm Ǿ
1500-1600*3500mm Ǿ
1800-1900*3600mm Ǿ
2000-2300*3600mm Ǿ
2300-3000*3000-3600mm
极限真空度    ≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟   
机组配置    KT-600扩散泵机组 KT-630扩散泵机组 KT-800扩散泵机组 2套KT-800扩散泵机组 2套KT-1000扩散泵机组 2套KT-1000扩散泵机组
蒸发源配置 10 12 20 24    32    40   
配电要求    60KW 80KW 120KW 160KW 180KW 230KW
厂房要求 一层总高6.5米 一层总高6.5米 一层总高6.5米 二层总高9.2米 二层总高9.5米 一层400平方米