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供求
供应太阳能电池片扩散炉
信息ID:48189242
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产品详情
有图信息
信息类型:
供应
价格:
300000
所属行业:
烧结设备
数量:
10
发布时间:2018-12-18
所在地区:
广东深圳
详细介绍:
设备型号:KS-420
设备主要特点:
紧凑型设计
标准单台四管(三管可选),减少占地面积。
闭管磷扩散
工艺反应过程中,工艺片在石英管内,Sic桨外置,实现真正意义上的闭管扩散。
各种气体控制流量
数字式MFC的运用,比模拟式的控制精度提高,还消除了模拟传输的干扰。保证工艺生产的稳定性。
废气收集系统
带有废气定向回收冷却装置,收集后统一从后部排出。
气体喷淋扩散工艺
POCl3 ,可采用管内喷淋式引入到各反应区域,有效提高扩散的均匀性。
送片方式
高定位精度和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆,运行平稳可靠,无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
封门系统
密封的炉门设计,有效减少炉内热量的损失,并减少了温度恢复时间。与装载区隔离,保证装载区无污染,避免操作人员受有毒气体的损害。
自动压力平衡装置
自动闭环压力控制。实现压力平衡自动处理。
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