品 名 规 格
机 种 5KW曝光机
数 量 壹台
机器尺寸 2100mm*1400mm*1800mm
电 源 3相380V 50Hz 10KW
光 源 2支5KW毛细管高压汞灯散射光
灯管冷却 水冷式直接冷却
曝光方式 双面双台面曝光
曝光控制方式 能量积分运算自动控制
有效曝光面积 720MM*920MM
曝光台面 上层材质:Mylar 下层材质:光化学强化玻璃
曝光均匀度 85%以上
台面冷却方式 风冷
使用环境条件 室温25℃, 湿度55℃之清洁环境
曝光控制器 智慧型人机介面, 能量积量控制系统
环境配合设备 (1)5吨冷却塔, 循环水管出入口管径1-1/4”配管.废水排水管为1/2”;
(2)19KVA电力系统NFB规格为三相80A;
(3)蒸馏水40升。
操作方式 Pro-face型人机介面+Mitsubish可程式控制器。
(具备多点故障自检,错误警示。)