出售二手RTP快速退火爐

台灣製作 高溫退火爐

1. 以石英紅外線燈管進行高溫退火，zui高溫達1000度，升溫速率100C/sec

2. 樣品尺寸zui大為30cm x30cm。

3. 溫度均勻性為1%。

4. 腔體可抽真空，且可搭配製程通入不同氣體進行實驗(氧氣或氮氣等)。